7月14日，华海清科株式会社（简称“华海清科”，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自立研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺遂出机，发往海内逻辑芯片制造范畴龙头企业。这一主要时刻标记着华海清科乐成实现面向进步前辈制程芯片制造的年夜束流浪子注入机各型号的全笼罩。
据相识，离子注入设备是集成电路制造前道工艺的要害设备，技能壁垒高，海内集成电路制造企业重要依靠入口设备，国产替换空间巨年夜。为此，华海清科出力打造高端离子注入设备，本次发往客户真个低温离子注入机，不仅继续了最新一代年夜束流浪子注入机iPUMA-LE的进步前辈设计，于拥有更年夜束流、更好匀称性和更精准角度节制的同时，采用了耐低温静电载盘技能，以全套自立研发的国产化温控体系，乐成实现了工艺温度的精准闭环节制，其机能已经到达国际主流工艺程度。iPUMA-LT有用解决了离子注入中晶格缺陷没法彻底修复的难题，显著晋升片间反复性，提高芯片机能及良率。此外，该设备使用低温物理效应晋升非晶化效率，有用按捺“地道效应”，实现更浅结深，于满意晶圆代工场量产需求的基础上，为进步前辈制程的研发与量产提供了有力撑持。
华海清科暗示，今朝，华海清科已经推出年夜束流浪子注入机系列设备，并踊跃结构中束流浪子注入机和高能离子注入机等系列设备，可满意逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图象传感器）以和硅片制造等运用范畴对于高质量、年夜范围制造的严苛需求。此中，年夜束流浪子注入机系列设备均已经发往多家客户端并乐成验证经由过程，得到了客户的高度承认与赞美。
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